SAR ADC 金属做电容的画法

高速SAR ADC往往用metal直接做cap，相对MIM容值较小。对于12bit精度，一般需要怎么画能保证有比较好的matching呢?
三明治结构?上下极板的连线要怎么注意能减小互联寄生引起的偏差?

小编，你做的sar怎么样了啊

Capacitor matching 只跟面積有關.
1-Sigma=Ac/sqrt(WL),Ac is technology dependent,
Process down to sub-micro, this parameter smaller.

和画法的关系很大

SAR ADC 金属做电容的画法