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Outlook and Challenges of Nano Devices, Sensors, and MEMS －－－ 纳米器件，传感器和MEMS的展望和挑战
本书为读者提供了纳米半导体器件，MEMS和传感器的设计，制造，仿真和可靠性的概述，因为它们用于实现下一代物联网。 作者关注纳米结构如何与电气和/或光学性能相互作用，如何找到最佳解决方案以实现最佳结果，如何通过模型和模拟设计这些装置，如何提高可靠性以及什么是可能的 挑战和前进的障碍。

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