为什么tsmc 0.13工艺电阻的monte carlo 模型没有process的variation？

我用tsmc.13工艺，然后电路只放电阻rphpoly_mis，然后model library加了tt_res,stat_res，然后跑monte carlo，如果monte carlo 界面设置statistical variation为mismatch,仿真没问题，结果可以提现mismatch信息，但是如果设置为process就跑不起来，提示no statistical data generated for simulation。
而且model library里面是没有mc_res可选的。
这个问题有哪位大哥遇到过吗?
Tsmc的客服不太好问到，所以麻烦各位了。谢。

另外，bipolar的MC model也没找到呀，按说tsmc的0.13工艺应该很成熟才对，怎么没有这个monte carlo模型呢?

下载的工艺文件里有个mismatch文档，里边有。

但不是mc文档，是process variation统计公式，需要自己写mc文档。

我去找找，谢谢😊^ω^

who know it?