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弱弱问一下,为什么55nm Logic&RF的工艺PDK没有hpoly器件?

时间:10-02 整理:3721RD 点击:
Hpoly器件(高阻)应该不需要额外的mask呀,180nm的工艺有,130nm的工艺也有,为什么进入到深亚微米就没有了?深亚微米下做hpoly有困难吗?

因为一般本来就有的啊。再找找吧

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没有,高阻也就1K/sq或2K/sq,现在有500ohm/sq的poly resistor,为什么还要hpoly,没有意义

sq是什么单位~

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