SMIC 0.18um工艺中的Cox的值是多少？

4nm左右，好像是3.6还是3.8

这个PDK里面有的，去翻翻就有，COX一般是Lmin的五十分之一吧.....这样算下来也就3.6nm

8f 8f 8f 8f

感谢3楼，我也一直想知道

Cox等于二氧化硅的介电常数和栅氧化层的厚度之间tox的比值。
二氧化硅的介电常数为3.453e-5 pF/um，栅氧化层厚度根据工艺库器件模型可以查得到吧

模型里面有Tox的值，用εox的值除以Tox就可以了

“ε”是怎么切换输入法打出来呢?

谷歌拼音支持自定义短语，你自己写一个dis文件然后导入谷歌拼音就可以了，例如

1. alphaα
   
2. betaβ
   
3. gammaγ
   
4. gammaΓ
   
5. deltaδ
   
6. deltaΔ
   
7. epsilonε
   
8. zetaζ
   
9. etaη
   
10. thetaθ
    
11. thetaΘ
    
12. iotaι
    
13. kappaκ
    
14. lambdaλ
    
15. lambdaΛ
    
16. muμ
    
17. nuν
    
18. xiξ
    
19. xiΞ
    
20. piπ
    
21. piΠ
    
22. rhoρ
    
23. sigmaσ
    
24. sigmaΣ
    
25. tauτ
    
26. upsilonυ
    
27. upsilonΥ
    
28. phiφ
    
29. phiΦ
    
30. chiχ
    
31. psiψ
    
32. psiΨ
    
33. omegaω
    
34. omegaΩ

谢谢，总算可以继续运算下去了

学习了学习了

nicer

看你的tox是多大了，如果是5nm的话，Cox大概是6.9fF/um2，他俩的乘积是个常数，就是硅的介电常数。tox你看PDK就好了…………

我勒个去，这是要仿的

那是Tox吧

thanks

thanks

路过,学习

good info