MIM电容的antenna问题
时间:10-02
整理:3721RD
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我在做DRC检查时候看到antenna_mim这个rule
它的意思好像是说mim的CBM和CTM要么同时悬空,要么同时接OD,这样是OK的
其余情况都是unbalance的,其余情况包括:
只有一边接到OD,另一边悬空
只有一边接栅极,另一边悬空
两边同时接栅极
不知道我的理解有没有问题。但很多时候不是会用mim电容来隔直吗,后面紧接着就是MOS的栅极了
这样好像过不了antenna_mim,请问怎么办呢?
走线跳层吗,怎么跳?
它的意思好像是说mim的CBM和CTM要么同时悬空,要么同时接OD,这样是OK的
其余情况都是unbalance的,其余情况包括:
只有一边接到OD,另一边悬空
只有一边接栅极,另一边悬空
两边同时接栅极
不知道我的理解有没有问题。但很多时候不是会用mim电容来隔直吗,后面紧接着就是MOS的栅极了
这样好像过不了antenna_mim,请问怎么办呢?
走线跳层吗,怎么跳?
顶一下。是不屑于回答吗。
走线跳层
顶一下
怎么跳呢?MIM是由M8引出来的,然后M8先跳到M9,然后又跳回M8,这样吗?
加个二极管,主要原因是在制作的过程中,是一层层涨上去的,但是mim电容说白了是两层金属,下层长好了,上层还没有,就会存在风险,所以晶圆厂一般建议加个二极管