版图怎么实现大电容
时间:10-02
整理:3721RD
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在版图中想实现一个大电容 什么工艺能力求面积最小呢 工艺步骤暂且不用考虑 谢谢!
用mos管做电容?面积小点,精度差
MOS电容最大!
嗯 但是MOS电容的误差值太大了 我指望着能不能用那种堆叠结构 就是接个电容串起来的方式
哎 没有实际的经验 只能理论上空想了
MOS电容可以的,精度不比你MIM/MOM cap差
就是随电压温度变化,不过强反型变化就不大了
gate oxide是工艺控制最严格的了
如果你们自己有工艺设备的话,自己做应该还是有可能的。去代工厂的话,一般做不了吧。
moscap
建议MOS cap。一般误差在20%以内。注意在阈值附近电容会急剧下降,别的还不错。一般工艺下MOS电容和PIP以及MOM精度差不多的。
建议varator还不错,有的工艺能达到5%的偏差
MOS电容上再做一个PIP电容共用gate,能省很多面积啊。
可以用一些特殊的等效结构,比如SC积分器中要使用大电容的话就有一些特殊的SC结构来实现,可以找一下这方面的paper
求MOS电容版图的画法
Thank you!