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在同一工艺下,PMOS的最小尺寸为什么比NMOS的大点?

时间:10-02 整理:3721RD 点击:
LZ用了几种工艺,感觉一直都有这个特点。懂的大神望不吝告知

p载流子是空穴,迁移率比n电子小。为了做平衡的cell,p的宽度要比n管大,已达到同样的驱动能力。

我是从数字电路角度说的,从模拟电路角度呢?

感觉不是这个原因,我用的0.8um工艺,NMOS最小尺寸是0.8,而PMOS是0.9,两者差的也不是很多。为了相同的beta,PMOS尺寸一般是NMOS的2~3倍。是不是工艺的原因呢?

求大神解答!

应该是工艺水平的问题,在p注入和n注入时要用不同的mask套刻,后一层略大于前一层便于对准。
以CSMC mix 0.5um的工艺为例,n的最小线宽的0.5,p的是0.55;但在同一条线上跑的,1um HV的工艺,n管和p管的最小线宽都是1.

6楼说的看起来很有道理····

好想知道确切原因

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