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关于triming中电阻阻值的问题

时间:10-02 整理:3721RD 点击:
triming中用的fuse是次顶层金属,用电流方式烧断fuse,那么与该fuse并联的电阻的阻值是大好还是小点好。该电阻过大过小会有问题么?
我认为从烧断fuse的难易来看是这个并联电阻越大越好。希望高手指点。

没人谈谈这个问题或者指导下么?

目前的疑问是该电阻过大会有什么问题。

之前没有关注过用fuse做triming,简单说下我的愚见。
fuse要烧断应该是流过的电流达到一定水平,fuse的阻值一定。电压达到阈值无论并联的电阻多大都能烧断。只是并联的电阻太小自身流过的电流可能太大导致烧断,但应该不影响fuse。
而电阻大的时候,我认为fuse不断就相当于短路,应该不存在影响。

谢谢参与,据说电阻太大会有问题,如产品cp过程triming。

太 大 是会 有问题 的,fuse烧断后表现出来的电阻并 不 是无穷大 的 。
CP时需要经常清理探针。

我理解fuse烧断后的阻抗应该是无穷大,而阻抗有限应该是因为fuse烧断后又有部分熔回去了,也可以认为是藕断丝连。所以有较大的阻抗。

能问下cp时候经常清理探针,做什么用? 保证fuse每次都能彻底烧断应该是很困难。

据我的理解,trimming应该有两种,一种是产生一个0和1的逻辑信号用,这种结合内部判断逻辑电路,对fuse熔断的要求会很低。
一种是直接调整电阻阻值,由于直接与电阻并联对熔断的要求会比较高。但金属fuse如果有fab提供相关的测试参数或者design rule,应该是没有太大问题的。金属fuse熔断的良率主要还是看实际工艺中开窗能否去干净n-1层metal表面的oxside和需要加的电参数。
但实际cp时也有问题,测试不稳定,接触不良,第一次没有彻底烧断,不管是metal还是poly fuse,不可能在重新加电二次烧,因为第一次烧不断,fuse就变成高阻了。如果这时并联的电阻很大,这个die可能就fail了。
cp过程中清针是测试机探针台自动的功能,因为探针测试一段时间就会氧化,导致接触不良。所以需要自动清洗一下。

我了解对于poly fuse 是第一次烧不断,会变高阻态,又因为poly fuse 是电压熔断,所以对于poly fuse 若第一次融不断,就不可能再熔断了。但是metal fuse 是不会变高阻态的。而且是电流熔断方式。



你说的没错,理论上是这样的。
但实际上我们遇到过,测试环境不稳定,加上cp开窗的工艺波动,造成部分金属残渣残留。实测表现为不到1M的电阻。
当时没有发现,出货后trim信号不稳定。
后来发现这个问题,cp无法解决,一次不断再烧用处不大。当然根本还是trim后面的比较电路有bug。
当时的公司陪了不少钱,血淋淋的
还是大意不得

你说的这些问题我们都遇到了。我只是找下原因和解决办法。
我目前避免这个问题的方法就是保证每段triming的电阻小于500K,不知道你们还有其他的解决办法么?谢谢分享。

想问下对于poly fuse是否一定要灌固定电流,用加固定电压的方式不行吗?这样就不会烧并联的电阻,可以trim第二次了

poly fuse就是电压熔断的。所以高阻后不会第二次熔断。

我也学习了,谢谢分享!

I^2*R 就是功耗!热了就熔断了
所以r取值适中即可
Metal w 取值参考代工厂的建议

希望您把帖子从头再看一遍

想问下,为什么poly fuse一般采用电压熔断而metal fuse一般采用电流熔断呢?另外,一般fuse是用metal还是poly呢,trimming的时候是加脉冲信号还是持续信号?多谢!

奥,不过我不太理解res大了有什么不好(影响)


这个你问cp测试人吧,我也不懂

我头痛啊~

并联电阻越大越好,分流更小

我觉得大些易trim

对,电阻不能太大。因为与之并联的fuse烧断之后,实际阻抗在1Mohm左右,可能更低。为了不影响原电路,电阻不宜太大。

其实我认为这个trim后的fuse阻抗是很大的,若不是很大说明fuse没熔断,或融回了。这个一般是没开好窗,或者是有污染物进去了。导致熔断的fuse蒸汽没有跑出去,被挡住,冷却后就熔回了。这个一般跟foundry和CP测试相关。

Fuse 融斷的機制不同;
(1) metal fuse: electromigration
(2) poly fuse: local burn-out via heat

路过,弄器件的讲一下哈

电阻好像不能太大

电阻不能太大

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