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SMIC0.18um工艺的铝层厚度是多少

时间:10-02 整理:3721RD 点击:
请教下谁知道SMIC0.18工艺的铝层厚度 应该是指M6的金属厚度。
PS:封装的时候要求提供。


谢谢!

查smic提供的工艺文件,里面说的很清楚。

SMIC工艺文档中查找即可。

一般M1~M5的thickness 均为4500A。

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