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IBM013工艺手册里FET管电流方差公式中的NF是什么?

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如上图,这是工艺手册里给出的求电流方差的公式,除了NF其它变量值都给出了。NF是什么啊?怎么能推导出如下图等式最右边的Aβ和Avth呢?


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Number of Finger

A-beta和Avth是工艺参数,很工艺的精度有关,可以通过仿真反推或者查工艺手册得到。

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