LDO测试异常

最近做的一个5V to 3V的LDO测试有异常:
1、输出电压在2.9V左右，基本还OK；
2、负载能力也基本OK，几十毫安没问题；
3、空载时电流很大，2mA以上，正常应该不超过100uA，说明有非正常的电流通路。
所以做了一个这样的测试：将VIN和VOUT短接，并在上面线性增加电压，看电流的变化，发现电流呈近似指数增长，并在2.4V左右以后，电流达到3.4mA，基本不再变化。见下图：

电流随电压呈指数关系的物理结构好像只有PN结正向导通时候是这样吧?各位大神帮忙给看看，怎么从这个现象着手查找问题，谢谢啦。
另外，工艺用的是smic 0.18um mixed signal

各位路过的大神给看一下好吗?

2.4V以上电流钳住是个线索。
2.4V以上，漏电节点的电压不再增加。还是要从电路入手查。

测试下line & load regulation，再和仿真结果对比下（load regulation还要考虑bonding及寄生电阻起到的作用）,看LDO和bandgap是否能正常工作。
图中的IOUT应该是IIN把，LDO很缓慢的上电也漏电吗?看这个曲线也可能是平方关系，要计算过才知道中间弯曲的一段是指数还是平方变化。可能是那里寄生了管子。这个LDO用的是0.5um的工艺吗，用到了deep nwell，这个deep nwell有接好吗?如果寄生的是三极管，看下电路中是否有正向导通的pn结，再看看周围的layout情况。

可以确定有电流通路，是不是寄生管开启了?
版图上衬底连接都到位了么?

谢谢！这个是用裸die测试的结果。
负载调整基本也OK。
工艺是.18的，没有deep nwell。衬底的接触检查过了，都没有问题。

如果在电路中，用到了特殊器件，请检查一下特殊器件的衬底，是否正确连接。

去做一个EMMI实验，定位一下哪里漏电了。

感谢各位，问题找到了
是光罩有问题。

能具体点么?怎么发现是光罩的问题?

我们实在查不出设计上的问题，让foundry检查数据、光罩，foundry发现在加dummy metal的时候把生成metal mask的公式搞错了，导致一个IP上的M2和M3缺失了，而via都正常，所有在那个区域有很大的漏电流。