metal cap

有人能帮忙解释一下么?

metal Cap 有2 type
0.5um 還有 pip cap , poly & poly
0.35um 好像就是只有 MIM
1. MIM =>0.35um process在 metal 間要多MASK 把IMD
　 吃薄些(中間層 metal 和 metal 間很厚。）..不過 mim 還是單位面積比 Lv mos_cap 小
2.真的 metal 1metal 2 間電容
有一類是 IMD但是因為隔遠所以電容很低很低.不過 可以來當高壓電容.
上下層故意平行做電容..電容很低
另類是做成 finger
同一層的 兩 metal 間要隔開但又不能太遠的寄生電容 ..
metal fringe cap => 應該是METAL週邊線的雜散電容嗎?
可以看看都可以有人拿 metal 做電感有一些還拿METAL做 IC 內空氣芯變壓器..
但是是否能用不知道 ?只以前paper 有
=>Electrically decoupled integrated transformer having at least one grounded electric shield
United States Patent 7084728

学习了！

bucuo

非常感谢啊。