看两个电容
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mom cap和mim cap的区别
mom cap ( metal oxide metal cap) 从字面理解是利用了不同层次metal之间的oxide做电容的介质层,可以减少面积
mim cap (metal insulator metal cap) 从字面理解是利用了相同层次metal之间的insulator做电容的介质层.面积比较大,但是用到的metal就只有一层,可以减少mask数量.
在相同的电容值下,mim cap面积更大.不同意楼上的说法, 还是看看工艺文件。mim电容是指用mim层做的电容,不要武断
2# k0k0k0k0
谢谢受教了!3# cczhanglc
阁下这种谨慎的态度是值得我等学习的5# liuguojia612
可是那个三端的电容怎么用啊?我来学习一下
7# sjh0
查下model,应该有第三端定义的mom没见过,但是mim不是这个意思吧,我研究过pdk也是不同层次之间的金属哈
没有model给我查啊~
MIM是两层金属,中间用电解质(通常是高K材料)隔离,而MOM是用同一层金属采用交叉结构形成电容,edaboard有讨论:
http://www.edaboard.com/viewtopic.php?p=1202291#1202291看下版图,有隔离环吗
可以看看版图,很有可能是接sub或者接nwell吧
谢谢大家基本上清楚了
.18製程之中~在M5以及M6中間有一層MIM電容層~是為了要製作高精度的MIM電容特別所定義出來的一級~~其他金屬層也可以做電容~可是他們的電容誤差就會很大~沒有MIM那麼高
mom可用极小面积有大电容 但其model....-,-非常不准
除非你不在意变异....或有良好的calibration谢谢大家,学习了~