有关2层多晶的问题
时间：10-02
整理：3721RD
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看到PAPER里面谈到2P4M的工艺，这两层多晶一般做在哪里，最下面或L2 L3之间，谢谢
2P主要是poly1,poly2,一是做mos，二是做电阻，电容用。
我就是想知道POLY是不是都做在衬底和下层金属之间，谢谢
是的 衬底和第一层金属之间