标准CMOS工艺下各个区域的掺杂浓度是多少
时间:10-02
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在标准N阱CMOS工艺中衬底、阱区,n有源区、p有源区的掺杂浓度分别是多少?不同制程的会有不同吗,比如0.13um和0.35um的大概是多少?想知道NMOS和PMOS的漏、栅、源及衬底的掺杂浓度。该在哪里查,在pdk里面没有看到。谢谢!
同问!小编知道答案了吗?
不知道,只看到工艺书中提到是差三个数量级
同问,有谁知道吗?
這是各家Foundries才會知道的資料, 不可能提供給Design House的, 就算有, 也只是粗略的, 詳細的資料是機密, 一般如有提供粗略的會放在process flow項目中
