deposition和epitaxy区别？

最近用tsuprem4仿个器件 用的外延比较厚 所以尝试了一下epitaxy语句 不过结果发现和用deposition的结果不同，这两个语句有什么根本性的不同么，还是在语句上epitaxy中包含了热过程而deposition中无热过程所致?  求解答  我也不知道发这个版合不合适 如发错 请小编帮忙移动~

顶一下，求大神解答。