求鸟嘴效应的原理解释

是栅长方向形成鸟嘴

    也就是说 鸟嘴横跨源栅漏对吧，那在另外一个方向栅氧和场氧是连在一起的还是中间隔着硅化物呀。有没有什么资料可以参考呀谢谢高手！

额，鸟嘴这个东西，，现在好点的工艺都可以控制了，，设计时只要栅宽设计的比最小设计规则大2-3倍，，可以避免。