Sentaurus Process的xrefine参数设置
时间：03-15
整理：3721RD
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请教各位：
refinebox min = 50.0<nm> max = 2.0<um> xrefine = {10.0<nm> 0.1<um> 0.2<um>}
上面红字表示X方向的上 中 下，因此应该是从小到大的顺序，但是为什么有的代码中第1个数字比第2个大?如下：
refinebox min= {-0.25 0.4} max= {0.4 0.6} xrefine= {0.1 0.06 0.1} yrefine= {0.1 0.01 0.1} oxide。
谢谢！
refinebox min = 50.0<nm> max = 2.0<um> xrefine = {10.0<nm> 0.1<um> 0.2<um>}
上面红字表示X方向的上 中 下，因此应该是从小到大的顺序，但是为什么有的代码中第1个数字比第2个大?如下：
refinebox min= {-0.25 0.4} max= {0.4 0.6} xrefine= {0.1 0.06 0.1} yrefine= {0.1 0.01 0.1} oxide。
谢谢！
中间小，上下大
根据需要，想怎么设置都行
再请教：
refinebox min = 50.0<nm> max = 2.0<um> xrefine = {10.0<nm> 0.1<um> 0.2<um>}这句前面min已经定义了最小网格间距是50nm，为什么xrefine中第1个10nm比min定义的更小?矛盾的。
应该怎么理解?