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sentaurus Mesh interface refinement的问题求教

时间:03-14 整理:3721RD 点击:

请教一个问题,当用sentaurus process 的时候,采用interface refinement:
refinebox min.normal.size = <n>normal.growth.ratio = <n> \
interface.materials= {silicon oxide}
请教在表面refine的时候,refinement会深入到材料内部多深? 说是表面,但是这个表面有多深呢?谢谢!

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