在进行模拟设计时想得到一个小的电容值同时又希望容值相对准确怎么做

大家好！请问一下在做模拟设计时想要使用一个容值比较小的电容，如果直接将电容的面积做小的话，在Corner变化或是在tapout过程中有工艺偏差的话会造成电容的容值会有相对比较大的偏差，我想知道的是在这种情况下得到小电容是通过将大电容进行串联还是通过以一些其他的方式得到呢?由于之前很少用到电容串联的情况希望有点不敢用，希望大家指点一下，谢谢！

m1和top metal做极板做一个，面积大，匹配好