求助关于sentaurus中语法“refinebox”的一些问题
时间：03-15
整理：3721RD
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最近看工艺command中的例子时，经学会遇到网格优化时使用的refinebox指令，其中一般包括四条，有max,min,xrefine,yrefine，现在只知道 他们是对网格进行优化，但不太清楚他们具体执行的功能是什么，比如其中给的数值代表什么?求好心的大神们帮解决一下，谢谢了~
max 和min表示矩形的两个对角坐标，xrefine和yrefine表示表示在x方向和y方向上调整网格
第二个帖子就回复了，不过间隔了1年，小编估计解决了吧