小电流测量 噪声和源阻抗

DUT的源阻抗会影响SMU的反馈安培计的噪声性能。当源电阻减小时，安培计的噪声增益将增大。图20所示为反馈安培计的简化模型。

在该电路中：

RS=源电阻

CS=源电容

VS=源电压

VNOISE=安培计的噪声电压

图20.反馈安培计的简化模型

RF=反馈电阻

CF=反馈电容

电路的噪声增益可由下式给出：

请注意，当源电阻(RS)减小时，输出噪声增大。由于降低源电阻会对噪声性能产生不利影响，所以在表1中根据电流测量量程给出了最小推荐源电阻值。

表1.最小推荐源电阻值

DUT的源电容也会影响SMU的噪声性能。一般情况下，源电容增大时，噪声增益也随之增大。尽管最大

源电容值存在限值，但是通过连接一个电阻或正偏二极管与DUT串联，通常能够在更高的源电容值下进行测量。二极管作为一个可变电阻，当源电容的充电电流为高时，其阻值很小，然后随着电流的减小而增大。