电子产品的静电放电保护技术与新装置的应用

4.2利用除静电器除去静电

“除静电盒”是一种组合箱体。它装有高频AC方式除静电器和空气幕帘，可在保持作业现场洁净的同时，高效地实现除静电、除尘及集尘功能。

如Creceed除静电盒产品具有3种功能：除静电、除尘与集尘。其构成由小型喷嘴式高频AC“除静电器”与BOX及集尘机构组成，如图3(a)所示。

除静电盒是一种新型“除静电．除尘，集尘”箱，适用于除去液晶零件、树脂成型品以及电子零件等的静电，并能预防因附着灰尘而引起故障。小型箱体不仅可以节省作业空间，提高作业效率，而且还能提高产品品质和生产能力。

因高压吹风而导致工件再次带静电或附着灰尘,可利用高频AC除静电器，有效除去静电，并能防止重新附着灰尘。由于采用了空气幕帘，吹风后的灰尘不会四处飞散。作业过程节省空间,设置面积为A4&A3，适合用于单元生产。作业效率(时间)提高，拆下侧面外罩后可在流水线上使用。

除静电器是一种通过向对象物吹送正电荷及负电荷的离子风来中和对象物带电状态的装置，如图3（b）所示。

除静电器有枪式产品、喷咀式产品与除静电盒等。

4.3除静电器的方式

⑴　除静电器有软X线式、电晕放电式、放射线式与紫外线式等4种。而电晕放电式又分DC方式与AC方式2种。而DC方式含有脉冲DC式； AC方式又分为商用AC，高频AC及脉冲AC等3种。下边介绍电晕放电式和离子的产生。

⑵　电晕放电是指：2个导体之间产生局部高电压时，因空气绝缘遭到破坏而产生的伴有蓝紫色辉光的放电现象。电晕放电式除静电器会对放电针施加高电压，从而引起电晕放电。由于电晕放电的缘故，放电针附近的空气发生电离，产生带电离子。图4(a)所示为向放电针施加带正电的高电压后产生正离子过程。图4(b)所示为向放电针施加带负电的高电压后，产生负离子过程。

⑶　AC方式和DC方式的区别

根据电压施加方式的不同，电晕放电式除静电器可以分为“AC方式”和“DC方式”2大类。小金井的除静电器采用了AC方式。其AC方式由1根放电针交互产生正离子和负离子。电离平衡良好，与DC方式相比，离子的产生量较少。而DC方式由正离子专用放电针和负离子专用放电针分别产生带电离子的方式。近距离的电离平衡较差，与AC方式相比，离子的产生量较多。

⑷小金井公司采用高频方式利用软管／管道运送离子成为可能的原因

商用频率的除静电器产生带电离子的频率很低，只有50／60Hx，因此短时间内的电离平衡较差，带电离子会在软管中消失，所以无法利用软管运送带电离子，见图5（a）。从图中可知，因软管内带电离子相互吸引力较强，容易被中和,无法运送带电离子。而小金井除静电器的频率高达68kHz，因此电离平衡良好、且带电离子在软管中难以被中和，所以使原本难以实现的“利用 软管运送离子”成为可能，如图5（b）所示。 由图可知,因软管内带电离子相互吸引力较弱，难以被中和,所以利用 软管运送离子”成为可能。

新型静电电位传感器“EP传感器”的测量与应用

EP传感器是适用于在线静电监视的传感器。无需在静电的测量和管理方面花费工时，即可适时监视肉眼无法看见的静电。可通过适时监视来针对那些便携式测量器具难以测量的地方进行静电管理。

静电电位传感器“EP传感器”主要利用了带电物体和检测电极之间的静电感应现象。带电物体的电场会致使检测电极表面产生感应电荷。该感应电荷会被换算成带电物体的电位并显示出来。其基本原理见图6。电荷Q(感应电荷)与电压V(带电电压)成比例。

实际上，在检测电极的前面还内置有可高速开闭的音叉快门。可根据该音叉快门的开闭量来获得与带电量成比例的交流信号，然后利用该信号测量带电物体的电位, EP传感器用音叉快门方式迸行测量。

5.1静电电位传感器“EP传感器”技术特征与应用

EP传感器是适用于在线静电监视的传感器,可实现便携式测量器具无法实现的在线静电测量和适时监视。采用一体式结构，具备低成本化和节省总体空间的特点。值此以Creceed(克雷斯德) 静电电位传感器“EP传感器”为例说明其技术特征与应用。

⑴　可实现在线静电管理。无需在静电的测量和管理方面花费工时，即可适时监视肉眼无法看见的静电。可通过适时监视来针对那些便携式测量器具难以测量的地方进行静电管理。

⑵　简便功能。简单设计，采用了一体式设计，EP传感器具备判定输出和异常输出功能。此外，无需通过放大器等设备即可直接连接外部控制设备，因而可以节省总体空间。

⑶　电压数据具有“数字输出”和”“模拟输出”两种。可以选择与控制装置之间的连接方式。可以用做面向外部的判定输出，或是利用电脑进行历史记录管理等。

⑷　判定输出功能。一旦超过设定电压(临界值)，便会通过传感器LED和电压比较输出(判定输出)发出通知,如图7(a)所示。

⑸　具有3种动作模式。平均化数据输出模式、实测数据输出模式、电离平衡监视器模式。

①平均化数据输出模式将测得的数据平均化之后向外部输出。数据输出周期可以选择：100ms、200ms、500ms、1s。

②实测数据输出模式.将测得的实测数据向外部输出，数据输出周期可以选择：100ms、200ms、500ms、1s。

③电离平衡监视器模式.测量除静电器的电离平衡。

⑹　具备校零开关功能。利用校零开关功能，可以将当前的测量值调整为0V。

⑺　EP传感器的设定方式可以选择“EP监视器”和“电脑软件”2种。EP传感器的设定可通过EP监视器或电脑软件来进行, 设定通过S232C进行,见图7(b)所示。