2602型源表应用测试类型（二）

热敏电阻测试
典型的激光二极管模组中，热敏电阻在25℃下的标称阻值为10kΩ。在常规工作模式中，整个模组的热稳定性要比其绝对温度值更为关键。

一系列测试热敏电阻的技术如下：
1、维持激光二极管模组的温度在一个已知温度上，简单测量热敏电阻的阻值；
2、将一个特性已经测出的热敏电阻热耦合到激光二极管模组上，使整个组装体达到热平衡，比较特性已知热敏电阻与激光二极管热敏电阻的阻值；
3、在制造过程中，设定一个足以包含激光二极管模组温度的阻值范围。为了避免热敏电阻的自加热效应，需要保持最小的功耗。一般地，提供10μA~100μA的恒定电流，测得的电压用于推导电阻值。

晶圆测试
VCSEL是唯一的一种进行晶圆级测试的激光器件。图1示出了片上VCSEL测试的简单测试系统。晶圆探针台通过探针卡与每个器件实现电学连接。探针台也可直接定位器件上的光学探测器。随后，使用单台2602双通道源表进行特性测量。






图1. 2602 VCSEL片上测试典型框图

如果探针卡可以同时与多个器件连接，每次探针卡与晶圆接触，类似于图1所示的系统可以测试片上的所有器件。由于片上器件数量巨大，采用扫描测试方案会非常耗时。对于要求高吞吐量的应用，用多个设备并行进行多个器件的测试往往是最优的测试方案。对于扩展的测试方案，可以参考下面小节中讨论的多路技术以及并行设备配置。



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