台湾工研院采用新思科技TCAD Sentaurus软件用于碳化硅技术的开发

全球半导体设计制造软件厂商新思科技(Synopsys)近日宣布，工业技术研究院(ITRI)已采用其TCAD Sentaurus模拟软件以支持其在碳化硅(silicon carbide，SiC)半导体元件的研究开发。 TCAD Sentaurus具备有精确的建模(modeling)技术，让工研院得以借由此技术对元件本身之电热物理性质进行详尽的模拟，以加速其碳化硅功率元件(power device)的开发。

碳化硅乃一种宽能隙(wide bandgap)的半导体，其卓越的电流电压及高导热特性适用于功率元件领域。 过去十年来，碳化硅肖特基二极体(SiC Schottky barrier diode)已广泛为业界所利用，而针对油电混合车、智能电网(smart grid)及其他创新电力装置应用之新一代碳化硅元件的开发也正积极展开中。 工研院目前正着手于各式功率元件的开发，以因应日渐提升的电气汽车及太阳能电池阵列的市场需求。

工研院电光所副所长高明哲博士表示，由于汽车及能源配置等领域对于节能增效的电源开关之需求提升，使得碳化硅元件的市场发展蓬勃，而新思科技TCAD Sentaurus软件可协助我们利用极务实的方式，进行元件电热效能的模拟，而这样的功能不但有助于我们了解新开发元件的性质，同时我们也利用它来达成元件特性的最佳化以满足市场需求。

TCAD Sentaurus系列产品包含了探究和优化硅晶(silicon)及化合物半导体(compound semiconductor)技术所需使用到的2D和3D制程以及元件模拟工具，该工具可执行针对碳化硅模拟的模型。

新思科技资深副总裁暨硅晶工程事业群总经理柯复华则表示:“电子产品应用日益复杂，新元件架构及材料也必须不断地创新，而功率元件(power devices)就整体半导体市场而言是发展相当快速的领域，借由支持新元件的设计及达成最佳化，TCAD模拟技术可协助加速碳化硅的商用布署。身为半导体研发的领导者，工研院对于新思科技产品的采用不只肯定了新思TCAD模拟工具为碳化硅元件开发所带来的价值。”