电子科大微波与光通信材料研究获突破

    近日，从设在电子科技大学的科技部“国际科技合作基地”获悉，电子科技大学在微波与光通信用单晶体材料提拉和液相外延生长方面获得突破性进展。这是继美国、俄罗斯、乌克兰后在国际上成功提拉出直径4英寸、长度大于30cm的钆镓石榴石（GGG）单晶，其经切磨抛后制备的基片上采用液相外延工艺成功外延生长了直径为3英寸的微波通信用超厚（大于50微米）钇铁石榴石（YIG）单晶薄膜和磁光用镥铋石榴石(LuBiIG)单晶薄膜。

    拉制大尺寸GGG单晶及在其上外延生长低缺陷微波与光通信用石榴石薄膜是一项难度极大的技术，国际上仅有几个国家掌握了大尺寸技术，我国以前无自主生产3英寸以上的这种晶体能力，因此本项技术的突破将极大促进我国微波与光通信系统的集成化进程。

    大尺寸GGG单晶体和YIG晶圆片技术的突破是基于电子科技大学近十年与俄罗斯、乌克兰等国的国际科技合作的结晶。目前在电子科技大学不仅建有先进的单晶提拉和液相外延生长单晶的工艺平台，而且在晶体微结构与生长机理方面拥有了扎实研究基础，已能进行小批量生产，年产4英寸GGG单晶50根左右，3英寸液相外延YIG圆片10000片以上。