肖特推出适用于RF/MEMS的玻璃晶圆产品FOTURAN II

适用于无线射频/微机电系统（RF/MEMS） - 和生物技术应用的先进光敏玻璃

国际技术集团和特种玻璃专家肖特集团近日推出经过重大技术改进的光敏玻璃产品FOTURAN^TM II，进一步扩大其薄玻璃和晶圆产品组合。该材料具有先进的光敏性、均质性。这些独特的特性使无线射频（RF）元件和微机电系统（MEMS）制造商可以为各种半导体和生物技术应用生产出结构更为精细的基板。

肖特的光学敏感性FOTURAN^TM II玻璃晶圆可按照以下三个或四个步骤构造和加工，即：紫外线曝光，热处理，蚀刻和陶瓷化（可选）。图片提供：肖特

肖特集团是光敏性玻璃领域的开拓者。过去30年间，作为一种性能卓越的特种玻璃材料，该公司的FOTURAN^TM 玻璃产品一直广为人知，并应用于无需采用常规光阻剂基光刻的极度精细的结构中。FOTURAN^TM在微系统技术的不同应用领域得到了测试和检验，这些领域包括微系统技术，半导体，远程通信，射频器件，微流体，微光学和MEMS应用

FOTURAN^TM II可提供更好的性能和更大的效益

现在，肖特采用一种全新的生产工艺，生产出一种全新一代的改性玻璃晶圆产品FOTURAN^TM II。该生产工艺可确保很高的重现性，以及整个晶圆产品均一的光敏性和光学特性。

肖特薄玻璃和晶圆产品战略业务部负责人Fredrik Prince表示："这些独特的特性使FOTURAN^TM II晶圆产品成为无线射频/微机电系统和生物技术领域的一个关键元件。借助该产品，我们的客户可以生产出具有微米级别、前所未有的宽高比和更为精细微结构的基板。"

FOTURAN^TM II晶圆的标准供应尺寸包括直径6英寸或8英寸的晶圆以及200X200毫米方形基板，产品厚度则在0.5毫米—1毫米之间。这些晶圆和方形基板可以按照以下三个或四个步骤来进行构造和加工，即：紫外线曝光（采用无需使用光阻剂的标准光刻设备），热处理，蚀刻和陶瓷化（可选，针对耐高温领域的应用）。用于构造FOTURAN^TM II晶圆的主要行业包括半导体、电信、微机电系统传感器、无线射频元件、微流体和微光学等行业。

在无线射频（RF）应用领域，结构化的FOTURAN^TM II基板可以使功率电感器在高频设备中占据很小的占地面积、拥有高的品质因子和高自谐振频率（SRF）。另一方面，用于生物技术中的微流体即将成为诸多领域的主流支撑技术，这些领域包括医疗诊断、生命科学研究、药物传递和合成等。FOTURAN^TM II晶圆可用于生产可重复使用、易于清洗和光学透明的滴定板。此外，与硅传感器所不同的是，FOTURAN^TM II的可构造性使小型热质的流量传感器具有超快的响应速度和优良的化学稳定性。最后，FOTURAN^TM II晶圆还可用于半导体基板和采用标准半导体设备的封装工艺中。

肖特集团是世界领先的由特种材料制成的薄玻璃和超薄玻璃晶圆及基板供应商之一，而FOTURAN^TM II晶圆则是肖特集团独特产品组合中的一个有力补充。

关于肖特公司

肖特公司（SCHOTT）是一家特种玻璃和玻璃陶瓷领域的领先国际技术集团。公司拥有130多年卓越的开发、材料和技术专业经验，供应范围宽广的高质量产品系列。肖特公司是许多行业的创新实现者，包括家用电器、制药、电子、光学器件、汽车和航空行业。肖特致力于为每个人的生活做出重要贡献，专注创新和可持续成功。集团通过设在35个国家和地区的生产基地和销售办事处展开全球化经营。集团拥有约15000名员工，2014/2015财务年度第1季度销售额达19.3亿欧元。母公司SCHOTT AG总部设于（德国）美因茨，由卡尔·蔡司基金会全资拥有。作为一家基金公司，肖特公司对员工、社会和环境担负着特殊责任。