中国首座MEMS晶圆厂落户抚顺

采矿与金属加工企业罕王集团拟投资30亿元，在抚顺经济开发区建设罕王微机电高科技产业园，发展高端传感器和微机电系统装置，年计划生产MEMS芯片5亿只。

MEMS器件广泛用于医疗、汽车、智能手机等领域，目前中国高端MEMS几乎全部依赖进口。罕王集团全资子公司罕王微电子（辽宁）有限公司将与美国资深微机电系统传感器专家合作，开拓这一新兴市场。

罕王微电子总裁黄向向计划厂房建设按300mm厂规划，MEMS业界目前正从200mm向300mm技术转变，而罕王微电子将为随时导入最新技术做好充分的准备。

抚顺工厂将分3期进行建设，黄向向预计2014年MEMS产能达到每月4000片200mm晶圆，2013年，后道电镀刻蚀等工艺也将初步完备。

未来工厂将有70%的产能生产自主研发的MEMS器件，30%的产能用于代工。目前公司在美国俄亥俄州克利夫兰设有办公室，负责芯片设计工作。

关于罕王微电子（辽宁）有限公司

罕王微电子（辽宁）有限公司，成立于2010年4月，总部位于沈阳青年大街龙头位置的"罕王大厦"，其研发中心Hanking Electronics, Ltd位于美国俄亥俄州克里夫兰市，系罕王实业集团有限公司旗下控股公司之一的高科技中外合资企业。它是以微机电系统/MEMS制造工艺及芯片设计技术为核心，以生产微机电系统/MEMS传感器，MEMS微型器件、混合集成电路和电子元器件为主营业务，集设计、制造和开发，OEM生产，提供MEMS/微制造加工代工服务，销售及售前和售后技术服务于一体的大型综合性高新技术企业。业务也涵盖为客户提供微机电系统/MEMS传感器及微型器件产品应用的整体解决方案。

其核心产品定位于高端传感器（MEMS传感器）、MEMS（微机电系统）装置及智能传感器和传感器网络产业应用产品配套系统，主要用于汽车、医疗、消费电子及工业控制市场,面向国内及国外MEMS传感器及微机电系统装置市场的需求。