让测量技术优先发展

两年前，笔者作为一名工程师踏入KLA-Tencor上海办公室接受电性测量机台的培训。留下的深刻印象中，除了那令人一头雾水的原理外，还有公司里有条不紊的工作氛围。两年后，笔者有幸以编辑的身份再次来到这里，与KLA-Tencor中国区总裁苏华博士进行了面对面的交流。

捷克著名小说家米兰•昆德拉曾经说过："事情总比你想象的复杂。"这句话用在半导体行业再合适不过。一条生产线会出现的问题永远超出人们的想象，如何检测，特别是在线及时发现问题更是工程师的不懈追求。"Metrology First"是苏华博士在采访中反复提及的观点。"晶圆厂，包括中国本土的晶圆厂，在过去的发展中对晶圆检测已经相当重视，越来越多的晶圆厂愿意在提升良率的方面做更多的工作。"苏华博士说，"他们已经意识到成品率的提升是产品和企业的保证，并将眼光放得更远，着眼于与设备商共同创造价值，追求资本支出的长期投资价值回馈。"

半导体行业一直有"Yield Enables Success"的说法，这一观点得到了广大业内人士的认可。俗话说"巧妇难为无米之炊"，只有当检测设备与技术节点的要求相匹配时才能达到一定的良率。KLA-Tencor着眼于与客户共同创造价值，帮助他们在向更先进的技术节点迈进时，充分利用设备的可延伸性，及早发现可能会出现的问题，即所谓的"Early Learning"。苏华博士认为，作为工艺控制设备供应商，KLA-Tencor应尽量将自身的经验与客户分享，帮助他们少走弯路、解决问题并提升良率，让越来越多的客户意识到"Metrology First"的真正意义所在。

如果将KLA-Tencor看作一个球队，那么作为领队的苏华博士如何组建球队、挑选队员并保证赢球呢？"价值观、意愿、技能是我挑选团队成员的标尺，"苏华博士说，"首先是要能够认同并符合KLA-Tencor的价值观，其次是要有进一步成长的意愿，至于专业能力我相信可以通过培养来实现。" 苏华博士强调，只有与公司价值观匹配、认同公司文化的人才有可能在这个团队中得到成长与发展。苏华博士对于人才非常重视，为寻找到一个合适的人往往不惜时间和成本，凡加入团队的人都能够得到充分的重视和培养，并在日后的工作中逐渐显露他们的才华。

经过过去3年多的团队建设，KLA-Tencor已经从打基础和重整过渡到进一步建设和强化阶段。目前公司已基本实现管理层的本地化，公司的制度、流程均以建立，未来的重点将是提升技术水平、提高服务质量。

对于近几年高速增长的光伏产业，苏华博士有着自己的观点。"光伏产业目前还处于起步阶段，它的发展应借鉴半导体产业的经验，找到适合的商业模式，实现依靠技术赢利。"KLA-Tencor近期并购了一家比利时公司ICOS，希望借助其在光伏检测方面的技术优势，为客户带来更多的解决方案，在这个新兴领域有所作为。

虽然半导体产业正在面临寒冬，但是KLA-Tencor在光刻检测领域还是有新的作为。2008年推出的Terafab Mask Inspection System和WPI可以帮助客户迅速精确地检测出掩膜版上的缺陷，从而降低生产风险并提高良率。eS35作为KLA-Tencor第十代的e-beam检测系统，其敏感度有所提高，有助于提高4Xnm和3Xnm器件的良率。源源不断的产品开发及更新使KLA-Tencor在市场低潮中仍然能够稳固盈利并保持积极的发展轨迹。

随着技术节点的不断缩小、晶圆尺寸的增大、新材料的采用以及工艺复杂程度的大幅提升，可以预见的是，半导体行业对于量测与检测依赖性将持续提高。在苏华博士看来，重视测量、让测量技术优先发展将是半导体公司持续成长的动力之一，这也是KLA-Tencor的努力方向。