完全整合的EDGE闪烁噪声测量系统

Cascade Microtech公司日前推出了EDGE闪烁噪声(flicker noise)测量系统，据称可在1Hz~30MHz范围内进行精确测量，并已获得认证，是目前业界唯一的完全整合测量系统。

Cascade表示，随着各新型半导体制程节点开发成本的急剧上升以及产品上市时间压力的增加，今天的测量关键参数诸如闪烁噪声，已不再允许错误产生，制造商应体认到这些市场现实情况及其对于半导体制造的影响。

和传统内含多达五家供货商系统的组合方法不同，新的EDGE闪烁噪声测量系统是真正立即可用的解决方案。它包含一体成型的晶圆探测平台、测量仪器、软件和零组件，这种服务可是透过现场调查、最佳化的前后测量以及持续的应用技术支持，让用户获得精确的闪烁噪声量测数据。

"闪烁噪声是特性鉴定中特别复杂的参数。我们和Cascade Microtech紧密合作共同开发了其EDGE闪烁噪声测量系统，"特许半导体(Chartered Semiconductor Manufacturing)组件技术部的资深董事Michael Cheng博士表示。"这使得我们实质上能够提供我们的客户更多有关组件闪烁噪声的信息，而这在设计低噪声、高性能的电路方面是至关重要的。"

所有半导体内都会产生闪烁噪声(亦称1/f噪声)，它会引发通讯组件内的时基抖动(jitter)或相位噪声而降低组件性能，进而造成高位错误率(BER)。它也会导致闪存内的随机记忆错误或者SRAM内的软错误。

在半导体国际技术发展蓝图(ITRS)的2003年版本中，已修改并预测对最低操作电压的要求将随着组件体积的缩小而提高。这个预测对于组件开发者而言是要求更精确的量测闪烁噪声，因为它是组件噪声中主要的部分，也是降低组件操作电压的关键障碍。

例如，现今消费市场对终端产品的要求：高数据传输率就等要求更小的时基抖动，而手持设备要求的低待机耗电量就等于较低的讯息噪声比，这些都是与精确的测量闪烁噪声相关的。

闪烁噪声是通过角频率做特性鉴定，超过这一频率以后其它类型的噪声就会占有优势。因为外来的背景噪声常常会使超低噪声频率角变得模糊，而使测量和撷取工作难以达到所需的精确度。

讽刺的是，此类背景噪声却常常是试图测量闪烁噪声的系统所产生的。和Cascade Microtech的完全整合闪烁噪声测量系统不同，其它的闪烁噪声测量方案都是把来自多个供货商的多个仪器和探针组合在一起，而在事实上不可能达到完全整合测量系统才能获得的抗噪性能。

完整测量系统方案立即可用、单一厂商，EDGE闪烁噪声测量系统，提供撷取闪烁噪声数据的简便方法；最宽带率范围高达30MHz，最低的背景噪声一般低于1.2nV/rtHz在100KHz和以上。如此宽的频率范围和低背景噪声能使客户能设备性能提升、得到较高的利润并缩短产品上市的时间。

因为它是完整的，因此EDGE闪烁噪声测量系统消除了对于安装客制装置或者装备仪器的需要。此外，它已经被设计为可在同一个系统内提供了两组测量、过温保护功能，可用按钮自动的在闪烁噪声测量和DC测量之间进行切换。这消除了把晶圆从一个测量站转移到另一个测量站的风险，并消除了因为使用不同厂商产品须要重新整合配置而改变了原本系统功能的错误及风险。