吉时利联合Stratosphere Solutions研发65nm以下先进工艺特征分析技术

2008年2月18日，新兴测量需求解决方案领导者美国吉时利（Keithley）仪器公司（NYSE代码：KEI），日前宣布将与Stratosphere Solutions公司（Sunnyvale, CA）合作。Stratosphere Solutions致力于面向集成电路制造提供能够提高工艺参数成品率的新型解决方案。吉时利与Stratosphere Solutions合作后将采用阵列TEG（测试元件组）技术展开先进工艺研发和监测工作。

由于IC制造商不断追求制造更小尺寸器件，因此65nm以下水平上的工艺参数偏差为广大设计与测试工程师提出了巨大挑战。半导体行业迫切需要监测极其敏感的生产工艺，以便在不牺牲成品率的情况下获得最佳IC性能。

吉时利与Stratosphere Solutions将合作为彼此共同的客户提供一种独特特征分析基本架构，采用吉时利S600系列参数测试仪和StratoPro™ IP实现大容量、高产能、高可靠参数测量解决方案，确保客户成功实现先进半导体工艺。

吉时利副总裁、商务主管Mark Hoersten认为，"随着半导体技术发展，器件小型化上限已经达到纳米级，测量技术不仅要与时俱进，而且要帮助制造商构建并测试这类器件， 作为先进半导体测试技术领导者，吉时利期望与业界主要厂商合作，针对最高级客户应用提供创新性解决方案。"

Stratosphere Solutions公司首席战略官Prashant Maniar认为，"Stratosphere Solutions非常高兴与吉时利合作，共同提供最新的、即拆即用的、可互操作的测量解决方案，能够与最先进测试工具进行互连，这对于整个行业都是至关重要的。 随着半导体工艺达到45nm以下，越来越多客户面临改进参数成品率的挑战。Stratosphere Solutions高度集成硅验证解决方案对于帮助用户进一步提高参数成品率，降低成品率改进所带来的成本，加速测试时间，提高ROI都是非常关键的。"

吉时利S600系列参数测试仪通过适应器件工艺变化，帮助晶圆厂和代工厂降低芯片测试成本。这类测试仪可以用作成本极低的直流、射频和阵列TEG测试仪，提高固定设备重用性，从而降低测试成本。S600系列最新产品S680在一个测试系统内实现并行测试功能、高直流测试灵敏度、飞安级分辨率以及高达40GHz射频s参数测量功能，从而为65nm以下工艺节点测量提供具有当前业界最高产能和较低投资成本解决方案。

随着工艺几何尺寸缩减到65nm以下，阵列TEG结构，例如Stratosphere获奖StratoPro产品套件，正日益成为半导体工艺特征分析的关键手段。主要半导体公司需要一种事实上的标准产品，StratoPro将同样硅面积上的测试密度提高几千倍，实现最高分辨率测量和改善总体测试完备性。

作为一个参数式ActiveMatrix™硅IP平台，StratoPro™将凭借其高精度特性、电气参数及可变性管芯内统计功能帮助晶圆厂和轻晶圆厂用户实现芯片特征分析。用户可以选择65nm和45nm硅验证StratoPro平台，因为它将测试结构的密度提高了10～1000倍，实现很高测量分辨率，结合吉时利测试仪平台后能够大大缩短测试时间。晶圆厂用户可以在工艺研发的早期、成品率改进和生产监测过程中使用StratoPro™。轻晶圆厂用户可以使用该系统对与设计风格相关工艺偏差进行特征分析。

若需了解关于吉时利（Keithley）参数测试仪，请访问www.keithley.com/products/semiconductor 。

Stratosphere Solution公司

Stratosphere Solution公司是创新型参数成品率改进解决方案的重要供应商，主要产品包括硅验证IP平台和建模应用，能够帮助用户克服工艺变化对芯片性能和参数成品率的不良影响。其基本用户包括世界上一些重要的利用130nm～45nm工艺进行芯片生产的半导体公司。想要了解更多信息，请点击www.stratosol.com。

关于吉时利仪器公司

美国吉时利仪器公司拥有60年的测试和测量的丰富经验，已经成为涵盖从DC(直流)到RF(射频)先进的电子测量仪器和系统的行业领导者。专为电子制造业对高性能的生产测试、工艺监控、产品的研究与开发方面的特殊需要与挑战，提供卓越的解决方案。凭藉在电子测试研发领域的优势，吉时利仪器公司已经成为一个在半导体、无线通讯、光电器件和其它精密电子测量领域世界级的测试技术领导者。吉时利仪器公司对客户的核心价值在于：将先进的精密测量技术与深入了解客户应用有机结合，从而帮助客户提高产品质量、产能与产量。