Keithley最新升级版参数测试软件增强并行测试、RF测试功能

美国吉时利(Keithley)仪器公司日前发布面向S600系列参数测试系统的Keithley交互式测试平台软件KTE V5.2版。KTE V5.2所具备的多种功能大大提高了前沿电路材料测试的吞吐量(如RF频率测试)，并增强了研发和生产过程中所涉及的并行测试能力。此外，经过升级的KTE V5.2软件还大大增强了易用性，简化了测试工作，有助于测试工程师们降低总体测试成本。

吉时利KTE软件是功能强大的圆片测试开发与执行平台，能够帮助测试工程师制订整个测试方案。通过调用预定义的测试库、定义参数和连接方式，用户可在subsite级创建自定义的电气测试项目。

KTE V5.2是针对吉时利S600系列参数测试系统而设计。S600系列已在各种测试环境中广泛应用，包括过程控制、过程和设备调谐与优化、圆片测试，以及器件建模和表征等领域，S600系列测试系统在半导体行业中的应用已经跨越5代工艺节点，在此期间，S600以其对固定设备重用性的良好支持，降低了用户的测试成本并引导了整个半导体测试行业。

增强的并行测试支持

对并行测试支持的改进是KTE V5.2版增强的最重要功能。利用并行测试技术，用户能在过程开发中和相同的测试时间内获取更多数据量，或在产品量产过程中较少的时间内获取同样数据量。新发布的KTE V5.2版中涉及的新特性包括对PT_Execute的全校验支持，PT_Execute是一种能够在并行和串行测试二者之间进行快速评估的软件例程。其另一增强特性是FMI技术，FMI为固件与软件联合解决方案，能减少测试过程中的串扰、噪声，降低测试结果的测量波动。

增强的RF测试

新的KTE V5.2增强了RF测试功能，包括改进的LRM校准。KTE V5.2中RF测试功能在生产条件下实现相关性测量和校准，增强了S680参数测试系统的RF测试能力，能同时进行精确的DC和RF测量工作，非常适用研发和生产过程。KTE V5.2增强的错误信息描述功能有助于简化故障检测工作，另一增强功能追踪校准台接触情况，用于预测探针头的磨损程度。RF测试浏览器工具包可实现海量测试数据的大幅度快速精简产生所感兴趣的RF参数，帮助RF设备工程师实现实时过程控制。

对新型子系统的强大支持

Keithley的KTE V5.2平台还改进了对嵌入式仪器子系统的支持，采用该种设计方式可提高系统总体测试吞吐量。该系统优化了多种新型子系统，包括一种能够将电容测量吞吐量提高2倍的新型LCR表、一个频谱分析仪和Keithley的3400系列脉冲/图形发生器。3400系列脉冲/图形发生器能够满足高级半导体器件表征和材料研究过程中进行脉冲测试的需要。在器件尺寸不断减小、很多电子元件和材料的工作速度不断增长地驱动下，产生该类应用。

更好的易用性

Keithley的KTE V5.2大大改善了软件平台的易用性。增强的KRM(Keithley配置管理器)能实现多重配置的编辑，并处理其中一种配置(测试例程)的输入信息，将程序员的干预活动减至最少。其他的增强功能包括增加搜索内容的高亮显示和数据输入中的撤销功能。