中电13所推出新一代硅腔MEMS滤波器芯片

腔体滤波器的替代产品——硅腔MEMS滤波器(4-20GHz)

采用高精度微纳米加工、硅圆片直接键合、TSV(硅通孔)等MEMS技术制作的新一代硅腔滤波器芯片，体积较传统的腔体滤波器缩小了几百倍。为微波多功能集成模块的小型化提供了新选择。
频率范围可以覆盖L-Ku 波段，频段正在向40GHz 发展。。“全封闭”式结构设计使本底抑制达到60dB以上。

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