一个用于SAR ADC的采样电容疑问

下面是SAR ADC采样电容的一个单位电容，版图层次如下（SMIC工艺），M1M3M5连一起是一个极板，M2M4连一起是另一个及板；这种电容不像常规的MIM、MOM电容，不知道是什么电容?有什么优点?还有TN层是什么层?什么作用?有知道的大神吗?M1V1

M2V2

M3V3

M4V4

V4M5

TN层

另外还有一层NW层

没人知道吗?

用的是上下层金属间的电容，底极板包住了顶极板；还有什么特别的优点?
TN层是什么?

叉指电容。极大地节省了芯片面积

利用普通金属层做平板电容。
相比MIM少光罩
相比MOM， 精度和一致性更好，单位电容密度稍小。

你的回答靠谱，TN层和NW层像是用来隔离衬底的干扰

我还以为是MOM。

请问您是做SAR ADC的吗，能交流学习下吗

一个用于SAR ADC的采样电容疑问

2bit sar adc 500kps