问个RF电感设计的问题

做RF的大神,请教一个问题.如果在1P8M的工艺中,电感由top金属制作.现在遇到的问题如下:
1. 如果我现在要降层到1p6m,同样用同样的top金属制作电感,那么电感大小会变化吗,变化的趋势是什么, Q值怎么变化?
2.如果我现在要降层到1p6m,同样用不同的top金属制作电感,top金属的厚度会增加,那么这时变化的趋势是什么, Q值怎么变化?
谢谢！

第一个事情我们做过，直接换过去就可以了。第二个的话，Q值增大，因为电感值没怎么变， 电阻变小了。
不过还是要看你的应用，你如果是1G， 随便换都可以，如果100G，还是找个高精度软件好好方方吧。

补充一下楼上的
第一种情况，电感不会变化太多（假设工作频率远低于自谐振频率）。因为离衬底近了，到衬底的电容会大一些，自谐振频率会低。Q值会降低，因为到衬底的耦合增强（电场和磁场耦合）