请问如何在SMIC18工艺下实现小电容

请问怎么实现2F的电容呀?我看MIM电容最小只能实现15.5F的电容，因为做的是SAR ADC，所以对电容精度要求挺高。
是不是可以在版图中自己画一个小面积的MIM电容，然后后提取参数，或者画一个MOM电容?有人这么做过吗?

你用这么小的电容，考虑过KT/C noise么，15fF的话，在sample hold里，会有比较强的KT/C noise

以MIM电容来说，一般的单位面积电容值是1-2fF,Stark的可以到3。那么小的电容一方面寄生值比率挺大的了，另外就像楼上所说受MOS开关影响巨大

Great information！
Thanks.

还有一点是DRC 会检查MIM最小值，太小的过不了的

对精度要求高，那为什么要求2fF的电容呢?

因为要求做的速度快，要达到100M，所以就想让单位电容最小。现在感觉用MIM电容不行了，18下最小是3*3=15.5F.考虑是不是可以自己画个MOM电容然后后提……

如果在18下MIM电容达不到要求值，是不是可以自己画个MOM电容，然后后提?

不要把电容做这么小，不然寄生电容的影响太大了。实际根本无法实现。不要全部用电容阵列嘛，还有电流加大些就好了。做个20fF的应该可以达到你要的速度。如果工艺不支持，那就修改drc文件或者cdf，能仿真，不报错就行。

你说的对，15fF的电容放在开关和opamp输入之间，直接就被他俩的寄生电容吃了，在hold phase中，opamp输入端会出现极大地毛刺，dynamic error也会巨大

參考參考受用了

大家能不能评价一下，为什么不能用若干个大电容串接形成一个较小的电容呢?