请问下TSMC工艺中MIM电容的CTM层和CTB层
时间：10-02
整理：3721RD
点击：
最近在建模仿真MIM电容时，TSMC工艺中MIM电容的CTM层和CTB层的结构是怎样，他们的厚度和两层直接的间距，怎么确定呀
interconnect model里有你所需要的信息