在画电容layout时，unit cap修成45度角是出于什么目的考虑呢

为了防止90度锋利边缘，这些蚀刻更快。 并导致更大的过程匹配误差。

2楼对的。实际光照和刻蚀工艺会造成90度角变成一个圆角，所以画Layout的时候就做成一个钝角有利于Matching

那一般修角的长度怎么确定呢?

这个引入的失配应该很小吧,是不是在匹配精度要求很高的情况下才有意义

我可以给你一个线索
完美的圆形形状匹配远优于正方形或矩形形状。
制作形状的拐角，使形状接近圆形。

我体会体会，谢谢指导