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不同的代工厂,多晶硅电阻怎么偷rule

时间:10-02 整理:3721RD 点击:
比较了常用工厂多晶硅HR电阻的最小宽度,这些工艺都包含5V MOS管
代工厂HR电阻(1k/□)最小宽度
TSMC2u
CSMC1.3u
charter1.5u
HHNEC(2k)1u
发现TSMC的工艺即使是较先进例如0.18,1k多晶硅电阻的Lmin还是2u,管子在不断缩小,但是主要使用的电阻面积没减少。
想请教下,为什么这个多晶硅HR电阻的精度不容易做高啊?
在使用这些厂的1k电阻时候,一般的精度是20%,如果对精度要求低,例如50%,能自己修改design rule将Lmin减少吗,这个减少的量怎么确定啊,
请大牛指点,谢谢!

理论上是可以偷规则的,你可以自己画出更小L(比如1um)的电阻的版图;并在DRC时把相应的DRC错误当伪错处理;
建议你和工艺厂商沟通一下相关的风险,评估一下风险是否可以接受;(当然,工艺厂商对于你偷规则造成的问题不会负责的,你要自己承担出问题的风险);
如果不放心,第一次尝试,可以同时画出正常尺寸和偷规则尺寸的电阻,以备真的有问题可以改版;

谢谢 ,这种做法常用吗?

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