non-silicide的poly电阻？

有这种电阻哦~

salicide是一种具体的silicide实现方式
polycide是另一种
下面链接有详细解释
http://hi.baidu.com/lixu1113/blo ... 15f70a908f9d6c.html

salicide = silicide+polycide.

salicide 就是self-aligned silicide。和silicide 相比只是工艺流程上的改进而已，电阻物理上的性质没有什么区别。现在绝大多数主流工艺都是用salicide的。

楼上正解～～

请问non-salicide就是high-R poly吗?

7# kuohsi
不是，non-salicide只是用sab阻挡silicide的形成，形成的是unsilicide的poly，单位阻值提高数10倍，但highR poly在这基础上还要阻挡离子注入，单位阻值较unsalicide要高

所以non-salicide poly电阻广义来讲就是non-silicide poly电阻吧！?

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学习了 以前对此概念一直比较困惑......谢谢~

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