SMIC.18工艺下，sio2的介电常数怎么看，为了求cox

顶一下，我也想知道~

3.9----4.3

这是个范围，我们在计算时选多大呢

二氧化硅的介电常数等于3.9乘以硅的介电常数~硅的介电常数等于8.854乘以10的负14次方~单位是F/cm~这些都看看不到的吧~都是天生的值~在smic资料里只能看到氧化层厚度吧~

小编有工艺手册可以发给我看看吗?.35的有木有啊?我也正在发愁这个呢十分感谢qq：470301426

作为初学者，学习了

学习了，最近我也在为这个烦恼

要赞一个，看过两遍又忘了。

赞一个，谢谢！

8.854乘以10的负14次方~单位是F/cm！
这是真空介电常数 不是硅的硅的相对介电常数是11.9二氧化硅的相对介电常数是 3.9-4.3拉扎维课本答案里取的是3.9

介电常数（又称电容率），以ε表示，ε=εr*ε0，ε0为真空绝对介电常数，ε0=8.85*10^(-12)F/m。εr是相对介电常数，二氧化硅的相对介电常数是3.9。