求教:如何通过标准Si工艺的电学参数估计其工艺参数(如掺杂浓度)
时间:10-02
整理:3721RD
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在标准CMOS工艺中,只给出了一些仿真参数,怎么才能知道或估算其掺杂浓度呢?
同问
对工艺模拟的时候由电学参数反向得到工艺参数非常有用,不过感觉难度不小,因为工艺参数->最终电学参数的过程太复杂了,几乎是不可能完全推断出来的,只能有个大概的对应关系,否则fab们都不用混了,一给出他们的电学参数,他的工艺也就曝光了,