mom-cap电容的寄生电容如何仿真

大家好~
mom-cap的寄生电容应该是其电容值的10%左右，我想仿真验证一下，但是遇到了些问题，希望大家不吝赐教~
我用的是下图的方法，使用sp分析，通过z参数的虚部反推出电容值。假设寄生电容为电容两端对衬底的寄生电容，且两寄生相等；先测一次衬底接地、port一端不接地，再测一次衬底和port一端均接地的情况，得到的两个电容值相减后乘2，即可得到寄生电容值。
我在仿真中，选择了一个标称值为60.89 fF的电容，结果左图仿真的结果是60 fF，右图的仿真结果是60.89 fF，感觉结果不对。
1. 首先，仿真电容值并没有比标出的参数值更高。
2. 按仿真结果计算，每个寄生电容大约为1.8 fF左右，远小于10%。
不知道是我的testbench搭错了呢?还是其他的原因?
谢谢~

有人有什么思路吗?。

应该是准的，应该只有几个百分点

图一测试感觉有问题，Ca的两个极板floating，建议把信号源改为差分，并将中心tap接地。
另外建议题主查工艺库，看看寄生电容是怎样计算的。

在两极板处各加一个port做二端口参数扫描
你推一下y11，y12（y21）和y22的表达式就明白了。
这种比你的方法更直接，而且不需要假定两边的寄生电容相等，对mimcap也适用。
另外寄生没有10%那么大，两边加起来5%差不多的。
你的结果也是基本靠谱的。

thnak you