TSMC0.18中金属的电导率
时间:10-02
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求助各位,TSMC0.18um中金属的电导率是多少,在ADS中设计传输线要用到这个参数。
找到metal resistor参数反推一下
请问这个电导率可以在pdk中直接找到到吗
不一定有。
可以通过metal电阻方阻值和metal厚度推导出来。
麻烦问下。.18工艺里的金属是铜吗,还是其它的
一般是铝,TSMC的不太清楚。
0.18um 请看PDK!
可能是Al,可能是Cu
0.13um一下,Cu多见
好的,谢谢