用HFSS仿真片上传输线

额，有的PDK会给你相应的说明文档，指导你在HFSS下使用它的PDK。
如果没有的话，你就要自己去user guide里面查看各层金属的thickness 、sheet resistance等参数；
然后HFSS的话，网上可以搜索到很多的教程，在HFSS里面添加介质（属性设置来和你的PDK中一致）
然后仿真就ok啦

传输线很容易仿真，问题是如果很高频，你得比较准确的画出你的结构图。比如传输线的横截面形状，材料设置等等。