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请问在mim电容下放器件需要注意哪些呢?thanks

时间:10-02 整理:3721RD 点击:
请问在mim电容下放器件需要注意哪些呢?thanks
我准备用smic .13或tsmc.18 1p6m rf工艺,
需要在mim电容下面放器件来节省面积,
有这么做过的大大讲下需要注意哪方面呢?
谢谢
比如电容匹配性影响,寄生电容影响等
如何精确计算评估这些寄生影响
及后仿如何提取出这些参数影响呢。

说说个人的看法,
1 就mismatch来说,下面的器件影响,例如是否平坦,最好有foundry的数据。
2shielding是必需的 例如用3M?
3 寄生电容的影响必须要仿真确认,不知道您们有没有2D或者3D的寄生参数计算工具。

哦。3x,可否详细点呢
1.foundry只是说可以放,但是风险大?这个平坦度评估,对mismatch的评估foundry有文档么?
2.恩,shielding是要加的
3.但是加了shielding之后,寄生电容是手动计算么?仿真时因为model里边是没有这方面信息的,后仿不知道怎么加进去,你说的2d,3d寄生参数计算工具指什么工具呢,很准么?
我们好像只有cadence

>1.foundry只是说可以放,但是风险大?这个平坦度评估,对mismatch的评估foundry有文档么?
foundry一般没有吧。有的话,也只能作参考。可能要做了才知道。我倒是听说有人在下面布电源的。不过,你这太aggresive了
>你说的2d,3d寄生参数计算工具指什么工具呢,很准么?4 N' W( X6 o; Y: h, o/ n
例如synopsys的Raphael.应该还是可以信任的,我想。

中频滤波器,电容太占面积了。
要在下面放器件节省一下面积。
有好多公司是这样做的,但是不知道他们怎么考虑的

wait for profound explanation!

这几天开始准备动工了。认识一个朋友是在mim电容下面放的moscap。

小编你太有才了

哦。3x
我去问一下smic。

101ddddddddddddd

ddddddddddddddddddddddddddddddddddddddddddddd

meiqianle buhaoyisi

buhaoyisimeiqianledingqi

dingqi

smic 没有提供,只是说可以放,但是不建议放,怕出问题
不过有个朋友公司一直在下面放器件,除了对noise失配敏感的器件不放
也没有什么特别的考虑

学习中

学习中

如果电容不要求很精确的话,下面放没什么关系。
例如滤波用,MIM+moscap构造大电容。
下面放器件的话,是担心器件对电容的影响?还是担心电容对器件的影响?
从物理结构上来说,主要是mim下极板和下层器件之间的寄生电容,后仿提参数吧。
具体情况要具体分析才行,这样说不清楚。

上面的朋友能发发raphael的资料吗?谢谢!

在MIM电容下放其他模块的版图时,一定要注意N阱,其实还是应该理解版图的意义,多从cross-sectio去理解就会好很多。

如果用M3作shielding, M1和M2作下面的device的连线,M4和M5作电容的上下极板,那是不是需要5层metals?

thanks

这个说得好。后仿估计提不出来这个寄生吧?
另外还要看电路工作的频率。
下面放moscap,放电阻,放组合逻辑,我都干过。

推2樓

当然可以放。我做的电路电容全部都是放在器件上的,包括LNA的输入电容都是,要不然电容也太占面积了。寄生是首要考虑的问题,不过手算一般都没问题,最好算保守一点。
btw:我用过的工艺有smic110nm和tsmc110nm,产品供货都是国际一线大厂,你放心用吧。

请问,mim电容下面没有器件,不过这个电容时电路中的敏感电容,需要再此电容下面做dnwell吗?

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