Sentaurus 问题请教

请教前辈高人，
DIFFUSION TEMP=1100 TIME=2 WETO2 PRESSURE=0.2
请问上面这句TSUPREM4的语句翻译成Sentaurus的语句是什么?我按照上面那样写出现下面的问题。
我用了gas_flow，但是不知道flowO2= ?

谢谢！
** Warning **
No explicit gas flow specification; Total pressure setting is ignored ！
... continuing execution

自己顶一下求助求助