工艺缩小的情况下,为什么非CORE内部的管子尺寸没有缩小很多?
时间:10-02
整理:3721RD
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如题,比如55nm工艺的3.3V管子与110nm工艺下的3.3V管子的最小L并没有跟1.2V管子一样缩小幅度那么大。这是为什么呢?
缩了就扛不住3.3V了
耐压∝Tox∝minimum L
就算到了55nm,40nm,能耐3.3V电压的管子最小沟道长度也还在300nm附近
那为什么core内部的管子L缩小了那么多还是可以扛得住1.2V的电压呢?
四楼。
是不是本来就能抗得住那么多,只是110n余毒更大,个人观点!
core device是做halo implant的, IO device并不做 pocket
所以IO device的punch through voltage还是出不多的
..小的愚钝还是不是很明白,是不是core的管子的implant方式跟io device不一样所以core内部管子即使尺寸缩小了也还是可以承受较大的电压?既然这样为什么不把io device的implant方式弄得跟core device一样呢?