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器件版图与器件的工艺制造过程

时间:10-02 整理:3721RD 点击:
如果知道一个器件的版图,能不能完全对应其工艺的制造过程?
是不是要foundry的一些资料?需要哪些资料呢?

不知所云啊

你说的是仿真吗

不完全对应,版图上的一个layer可能需要好几个工序才能完成。foundry一般不会透露这些资料给你,recipe是foundry的命根,泄露了可是要命的。
一般的Design house,只能根据foundry提供的工艺model来进行设计。要和foundry合作开发自有工艺也是可以的,但是有很严格的保密要求。毕竟你的recipe被泄露了,也是能要了你的命的。
还有,下次提问的时候把话说完整的一点,这里没有哪个人和你有心灵感应。

对的,就是知道了版图能不能做器件的工艺仿真!

可以,有一种设计较反向设计。当然你得知道这个版图是哪个工艺的。

哪种工艺我自己知道。有没有这方面的资料可以参考啊?

我这里没有,论坛里应该还有不少信息,。你有版图,又知道工艺,用对应工艺的pdk把电路提取出来就o了。

具体情况是这样的,我有一共hall的版图,想用tcad对其工艺进行仿真。
但是版图是平面方向上的,用tcad仿真的时候是竖直方向上的,比如参杂的浓度,参杂的深度如何知晓。
谢谢!

版图其实也是立体的,你可以看看工艺规则文件,一层一层的只是你觉得是平面的而已

这些东西普通客户一般是拿不到的,即使合作得知,也是不能外漏的。如非要用TCAD仿真的话,建议根据基础参数多做几个cell试一下,根据电路仿真结果调整一下注入量,深度等参数,不过应该也只是得到个大概方向吧。

这些信息就得中工艺厂了,而且属于recipe范畴,不一定能告诉你,祝你好运。

嗯,我自己在看看。
非常感谢。

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